陶瓷
陶瓷材料是什么？
陶瓷材料是指对无机化合物进行加热处理后得到的固态烧结体。我们通过高纯度溅射靶材的生产技术，可生产高纯度，以及各种组成的烧结陶瓷以及陶瓷粉末。
陶瓷粉末
作为二次电池的研究材料，我们可处理使用于正极材，负极材，固体电解质的锂系复合氧化物。
锂复合氧化物
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二次电池材料例
| 正极材 | LiCoO2、LiFeO2、Li2MnO3、 LiFePO4、LiCoPO4、LiMnPO4、 LiMn2O4、Li(NiMn)2O4、Li2NiPO4F |
|---|---|
| 固体电解质 | Li3BO3、Li3PO4、(LiLa)TiO3、Li2B4O7、 Li7La3Zr2O12、Li1.5Al0.5Ge1.5P3O12 |
| 负极材料 | LiNbO3、Li2TiO3、Li4Ti5O12 |
LiCoPO
硼酸锂基和磷酸锂基材料也可以以非晶态和粉末形式供应。
Li1.5Al0.5Ge1.5P3O12粉末
非晶化 Li1.5Al0.5Ge1.5P3O12
非晶化LAGP的X射线衍射图
磁性材料粉末
我们一直在通过固相和液相反应等合成技术生产各种铁氧体粉末。
还可以生产订制的粉末，请向我们咨询。
MnFe2O4の分析例
SEM显像
X射线衍射
精细陶瓷溅射靶材
各种氧化物
例：MgO、 La2O3、 PZT、 PLZT、 STO、 AZO 等
各种碳化物
例：SiC、 B4C 等
各种复合靶材
例：颗粒薄膜材料：各种金属相+各种非金属相
金属相：Fe、Co-Cr-Pt、Fe-Ni、Fe-Pt等各种纯金属及合金
非金属相：SiO2,Al2O3、MgO各种氧化物及氮化物
各种其他种类的化合物
例：氮化物，氟化物，硫化物除了上记以外，我们还可以处理各种物质的组合。
高密度SrRuOx靶材
采用SBT或PZT作为存储电容器介质的半导体存储器已经实现开发，与使用Pt相比，通过使用SrRuOx（SRO）作为电容器中的底部电极可以改善电容器的介电性能。
此外，与PT外壳相比，SRO的使用也有望减少在电容器生产的加热过程中与电介质发生反应而导致的退化。本公司通过独自的技术，以能够抑制颗粒的产生，且稳定成膜的高密度SRO(SROHD)实现了密度90%以上靶材的供给。