1. 高純度化学研究所
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薄膜材料

溅射靶材

我们运用溅射法对金属及合金,陶瓷的构成及形状进行加工,以满足客户需求。

蒸镀材料

我们对啶片状,片状,金属颗粒及陶瓷等使用于蒸镀法的材料进行供应。
同时也提供舟皿,灯丝等蒸镀部件。

CVD・ALD材料

我们供应醇盐,卤化物,金属酰胺以及酰亚胺这类被运用于CVD・ALD法的材料。
并可对充填用圆筒气缸进行设计及维护。

CSD材料

这是一种在基板上涂抹溶剂,等其干燥后通过对其加热简单生成氧化物薄膜的涂层材料。
我们可处理使用在MOD法及溶胶凝胶法上的材料。