蒸镀材料
蒸镀材料是什么?
蒸镀材料是用蒸镀法形成薄膜时使用的材料,其中包括金属和氧化物。
我们通过熔化和烧结技术,供应各种高纯度的蒸镀材料,以及舟皿、灯丝和炉缸内衬等各种蒸镀所使用的部件。
蒸镀材料
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形状 | 标准尺寸 | |
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啶片材 | 直径 | φ5、φ10、φ15、φ20 |
厚度 | t5、t10 | |
片状材 | 5×5×t1、10×10×t1 |
我们可以对材料的形状进行加工,可以选择适合您使用的炉缸内衬的形状。
对于合金和氧化物,我们可以对成分进行控制。即使少量的订单也可以进行对应,请先联系我们进行咨询。
蒸镀用部件
材质 | Mo、Ta、W |
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氧化铝涂层加工后的舟皿
氧化铝涂层加工后的舟皿的优点是,试料和加热器的主体可以在彼此不接触的状态下使用。
利用氧化铝与大多数金属的惰性作用,可达到以下效果。
- 即使试料处于熔融状态,电阻率也没有变化。
- 与坩埚相比,具有更好的传热性能。
- 蒸发物不会弄湿氧化铝,从而不会上升到电极部分
- 蒸镀物熔化后变成颗粒状,形成点源。
- 因不与加热器接触,所以使用寿命较长。
氧化铝涂层适用于任何形状的W或Mo制成的舟皿。如有需要,请联系我们进行咨询。
炉缸内衬
材质 | Al2O3、BN,C,Cu,Mo,Ta,W |
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C,BN,BN复合材料
BN的复合材料是以BN和TiB2为主要原料,通过热压成型进行生产。是一种对熔融金属具有优良耐腐蚀性的材料。
由于可以进行机械加工,显示出与石墨相同的导电性,因此可以加工成各种形状,可以直接通电或通过高频感应进行加热。关于材料的厚度,我们可根据您的要求进行加工。
A | D | H | |
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① | φ21 | 100° | H10 |
② | φ29 | 108° | H15 |
③ | φ32 | 105° | H16 |
④ | φ35 | 97° | H17 |
⑤ | φ39.5 | 105° | H19 |
⑥ | φ50 | 105° | H25 |
⑦ | φ75 | 105° | H32 |
A以及H的单位
灯丝
材质 | Ta、W |
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我们可以根据您希望的形状进行订制。