分析設備
分析・評価技術
多種多様な製品を取り扱う弊社では、それらの品質を保証するために専門の分析チームと最新の分析設備を揃えております。試料の前処理には、高純度材料メーカーとして長年にわたり蓄積した技術を生かし、微量金属元素の定量、酸素・窒素のガス成分分析、物性分析としてX線結晶構造解析や電子顕微鏡を用いた表面分析などを行っています。
分析作業は温湿度管理され除塵設備を備えた分析専用棟にて行っています。
極微量分析においてはクリーンルーム内にて前処理から測定までを行うことで環境からの影響を排除しています。
主な設備
クリーンルームとクリーンドラフト
高純度製品の分析を行う場合は特別な環境下にて前処理を行い、分析を行っています。
※クラス100とは、1立法フィート（約28L）中に含まれる大きさ0.5μm以上の塵埃の数が100ヶ以下であることを表します。
誘導結合プラズマ質量分析装置 ICP-MS
高温アルゴンプラズマ中に溶液化した試料を噴霧し、イオン化された元素を質量分析する高感度元素分析装置です。周期表上のほとんどの元素を同時に測定可能であり、その測定範囲はppbからppt濃度領域に及びます。5N・6Nと呼ばれる高純度製品の純度保証に用いており、製品中に含まれる極微量金属不純物元素を定量しております。
誘導結合プラズマ発光分光分析装置 ICP-OES
酸などの試薬を用いて溶液化した試料を装置内部のプラズマで励起させます。励起された光を分光器により分光し、そのスペクトルを測定する装置です。光の波長は元素特有であり、また光の強度はその元素の量に比例することから、高感度な定性・定量ができる装置です。ダイナミックレンジが4～5桁におよび多元素同時に定量できるという特徴を持っています。
製品の純度保証を目的とした、金属不純物のppmレベル分析、および合金等の組成確認を目的とした、主成分元素の定量に利用しております。
炭素・硫黄分析装置
固体試料と助燃剤をセラミックスるつぼに投入し、高濃度酸素気流中で高周波電流にて試料を燃焼させます。
試料中のガス成分を赤外線検出器にてスペクトルを測定することで炭素、硫黄の定量分析をする装置です。
ppmレベルの微量成分から、％レベルの主成分の定量分析が可能です。なお、測定可否は構成元素や材料特性によって異なります。
X線回折装置 XRD
粉末あるいは固体試料にX線を照射すると試料内の結晶より回折X線が検出されます。
この回折X線の位置や強度について、測定データと標準データを比較し定性分析（同定）をする装置です。
PVD材料や無機材料の結晶構造による定性分析を主に行っております。試料を非破壊で測定することが可能で、大気下だけでなく不活性雰囲気下での測定も可能です。
X線回折チャート例では、測定した試料中に3種類の結晶構造が含まれていることが分かります。
電界放射型走査型電子顕微鏡 FE-SEM
細い入射電子線を試料に照射し、放出された二次電子線を用いて画像にすることで、表面の凹凸や試料形状・大きさを観察する装置です。
最小50nm(最大観察倍率10万倍)程度までの粒子観察が可能です。
粉末のSEM観察例
エネルギー分散型蛍光X線装置 EDS
FE-SEM搭載のEDS検出器を使用した蛍光X線分析です。PVD材料や無機材料の表面付近の元素分析が可能で、観察倍率は500から10000倍、観察視野とすると200から10μm程度になります。複合材料の元素マッピングや異物混入調査などの時に役立ちます。
粒度分布測定装置
溶液に分散させた粉末試料にレーザー光を照射すると回折/散乱現象が起こります。
この光強度分布は粒子の大きさに依存するので、その現象から粒子径を計測する装置です。
回折/散乱理論は試料が真球であることが前提に計算されております。
PVD材料の原料や無機材料である単金属・合金・酸化物と多種多様な粉末試料の分析が可能です。測定範囲は0.01から2000µm程度で、分散媒として水を用いますが、他に有機溶媒でも測定対応が可能です。
比表面積測定装置(BET)
試料表面にガスが吸着する物理現象を用いて単位質量当たりの表面積を測定する装置です。
PVD材料の原料や無機材料である合金・酸化物と多種多様な粉末試料の表面積が得られます。
測定試料の体積が同じでも表面が多孔質な構造をしている場合や粒子が微粒子になる程、比表面積の値は増加するため、粉体特性が異なることがあります。
比表面積の測定可能範囲は0.01m2/ｇ以上、前処理として行う真空加熱温度は400℃まで対応可能です。
