セラミックス
Ceramic
セラミックスとは
セラミックス材料とは、無機化合物を加熱処理して焼き固めた焼結体です。弊社では、高純度スパッタリングターゲットを製造してきた技術を生かし、高純度で様々な組成のセラミックス焼結体やセラミックス粉末を製造しています。
セラミックス粉末
二次電池の研究用材料として、正極材、負極材、固体電解質に使用されるリチウム系の複合酸化物を、各種取り扱っています。
リチウム複合酸化物
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二次電池材料例
| 正極材 | LiCoO2、LiFeO2、Li2MnO3、LiFePO4、LiCoPO4、LiMnPO4、LiMn2O4、Li(NiMn)2O4、Li2NiPO4F |
|---|---|
| 固体電解質 | Li3BO3、Li3PO4、(LiLa)TiO3、Li2B4O7、Li7La3Zr2O12、Li1.5Al0.5Ge1.5P3O12 |
| 負極材 | LiNbO3、Li2TiO3、Li4Ti5O12 |
LiCoPO4
ホウ酸リチウム、
リン酸リチウム系材料の
非晶質化・粉末化も可能。
Li1.5Al0.5Ge1.5P3O12粉末
Li1.5Al0.5Ge1.5P3O12非晶質化
X線回折-LAGP(Amorphous)
磁性体粉末
固相反応や液相反応などの合成技術により、様々なフェライト粉末の製造を行っています。
カスタム品製造も対応いたしますので、お問い合わせください。
MnFe2O4の分析例
SEM像
X線回折
ファインセラミックス
スパッタリングターゲット
酸化物系各種
例：MgO、 La2O3、 PZT、 PLZT、 STO、 AZOなど
炭化物系各種
例：SiC、 B4Cなど
複合系各種
例：グラニュラー薄膜材料：各種金属相＋各種非金属相
金属相＝Fe、Co-Cr-Pt、Fe-Ni、Fe-Ptなど各種純金属・合金
非金属相＝SiO2、Al2O3、MgOなど各種酸化物・窒化物
その他化合物系各種
例：窒化物、フッ化物、硫化物
その他様々な物質の組み合わせに対応いたします。
高密度SrRuOxターゲット
BSTやPZTをキャパシタとしたFeRAMが開発されていますが、これら誘電体の下部電極にSrRuOx（SRO）を使用することで、Pt電極より誘電体特性が向上することが知られています。
また、Ptに比べプロセス中の加熱時の誘電体膜との反応による劣化が少ないことが期待されています。
弊社は独自の技術で、パーティクルの発生を抑えることができ、安定な成膜が可能となる高密度SRO（SROHD）で密度90％以上のターゲットの供給を実現いたしました。