薄膜材料

Sputtering Targets

スパッタリング
ターゲット

スパッタリング法に用いられる材料で、金属・合金、セラミックスをご希望の組成・形状にて提供いたします。

Evaporation Materials

蒸着材料

蒸着法により使用される材料で、タブレットやチップ、粒状の金属・セラミックスを提供しています。
ボート、フィラメントなどの蒸着部品も取り扱っています。

CVD

CVD・ALD材料

CVD・ALD法に使用される材料でアルコキシド、ハロゲン化物、金属アミド、イミドなどを取り扱っています。
充填用シリンダーの設計・メンテナンスにも対応しております。

CSD

CSD材料

基板上に溶液を塗布し、乾燥後、熱処理を施すことで酸化物薄膜を簡単に形成することができる、コート材料です。
MOD法材料とゾルゲル法材料を取り扱っています。