CSD材料
CSD材料とは
金属の有機酸塩や化合物の溶液を塗布・焼成して薄膜形成を行う方法（CSD法）の材料を、CSD材料といいます。
CSD材料について
ディップコートやスピンコート法を用い、基板上に溶液を塗布し乾燥後に熱処理を施すことで、酸化物薄膜を簡単に形成することができる液体材料です。
機能性セラミックス薄膜の初期特性評価や可能性を探るための研究材料としてCSD材料は大変優れ、量産時の最大メリットは、材料コスト、生産装置や設備が安価なことにあります。
弊社のCSD材料は周期表を網羅する品揃えとなっており、多方面の研究者にご支援をいただいています。
形成方法
ディップコート法
塗布型材料溶液中に基板を浸漬し、ゆっくりと引き上げ、基板上に液膜を形成する方法です。
スピンコート法
基板を回転させ、その上に塗布型材料溶液を滴下し、遠心力により均一な膜を形成する方法です。
CSD材料の分類
MODコート材料
金属の有機化合物、主に有機酸塩を有機溶剤に溶解した溶液です。MODコート材料は、特に基板への濡れ性に重点がおかれており、各種ウェハー、SiO₂基板、ガラス基板などの上に、スピンコートやディップコートなどの方法で簡単に塗布できるよう調製されています。
ゾルゲルタイプ
アルコキシドなどの金属の有機化合物を加水分解、重合させ、コロイド状にしたものを溶液中に分散させた材料です。有機酸のような高分子成分をほとんど含まず、溶液中の主成分そのものがセラミックスの前駆体を形成しているため、一般に低温成膜性に優れています。
(1)ゾルゲル法材料
| 商品名 | 焼成後酸化物 | 濃度(%) |
|---|---|---|
| Si-05S | SiO₂ | 5 |
| PS-05S | SiO₂-P₂O₅ | 5 |
| BPS-05S | SiO₂-P₂O₅-B₂O₃ | 5 |
| BS-05S | SiO₂-B₂O₃ | 5 |
| Ti-03-P | TiO₂ | 3 |
| Ti-05-P | TiO₂ | 5 |
(2)MODコート材料
単金属薄膜塗布材料
| 商品名 | 焼成後酸化物 | 濃度(%) |
|---|---|---|
| Al-03-P | Al₂O₃ | 3 |
| Ba-06C | BaO | 6 |
| Bi-05 | Bi₂O₃ | 5 |
| Ca-03 | CaO | 3 |
| Ce-03 | CeO₂ | 3 |
| Co-03 | CoO | 3 |
| Cr-03C | Cr₂O₃ | 3 |
| Cu-03A | CuO | 3 |
| Er-03 | Er₂O₃ | 3 |
| Fe-03 | Fe₂O₃ | 3 |
| Ga-03 | Ga₂O₃ | 3 |
| Hf-05 | HfO₂ | 5 |
| In-05 | In₂O₃ | 5 |
| La-03 | La₂O₃ | 3 |
| Mn-03 | Mn₃O₄ | 3 |
| Nb-05 | Nb₂O₅ | 5 |
| Ni-03 | NiO | 3 |
| Pb-05 | PbO | 5 |
| Pb-10C | PbO | 10 |
| Pr-03 | Pr₆O₁₁ | 3 |
| Sm-03 | Sm₂O₃ | 3 |
| Sn-05 | SnO₂ | 5 |
| Sn-10C | SnO₂ | 10 |
| Sr-06C | SrO | 6 |
| Ta-10-P | Ta₂O₅ | 10 |
| Ti-03 | TiO₂ | 3 |
| V-02 | V₂O₅ | 2 |
| Yb-03 | Yb₂O₃ | 3 |
| Zn-05 | ZnO | 5 |
| Zr-05-P | ZrO₂ | 5 |
複合酸化物薄膜塗布材料
| 商品名 | 焼成後酸化物 | 濃度(%) |
|---|---|---|
| BT-06 | BaTiO₃ | 6 |
| BST-06-P(70/30) | (BaSr)TiO₃ | 6 |
| BiFe-03 | Bi₂O₃+Fe₂O₃ | 3 |
| LA-05 | LaAlO₃ | 5 |
| LT-03 | LiTaO₃ | 3 |
| MT-05 | MgTiO₃ | 5 |
| PT-10 | PbTiO₃ | 10 |
| PT-25 | PbTiO₃ | 25 |
| PZ-20 | PbZrO₃ | 20 |
| PZT-10 | Pb(ZrTi)O₃ | 10 |
| PZT-20 | Pb(ZrTi)O₃ | 20 |
| PZT-50(10/52/48) | Pb(ZrTi)O₃ | 20 |
| PLZT-10 | (PbLa)(ZrTi)O₃ | 20 |
| PLZT-20 | (PbLa)(ZrTi)O₃ | 20 |
| ST-06 | SrTiO₃ | 6 |
(3)EMOD塗布型材料
| 商品名 | 焼成後酸化物 | 酸化物濃度（mol/ℓ） |
|---|---|---|
| SYM-AL04 | Al₂O₃ | 0.4 |
| SYM-BA05 | BaO | 0.5 |
| SYM-BI05 | Bi₂O₃ | 0.5 |
| SYM-CA05 | CaO | 0.5 |
| SYM-CE03 | CeO₂ | 0.3 |
| SYM-CO04 | CoO | 0.4 |
| SYM-CS03 | Cs₂O | 0.3 |
| SYM-CR015 | Cr₂O₃ | 0.15 |
| SYM-CU04 typeS | CuO | 0.4 |
| SYM-DY01 | Dy₂O₃ | 0.1 |
| SYM-EU01 typeS | Eu₂O₃ | 0.1 |
| SYM-FE05 | Fe₂O₃ | 0.5 |
| SYM-GA03 | Ga₂O₃ | 0.3 |
| SYM-HF04 | HfO₂ | 0.4 |
| SYM-IN02 | In₂O₃ | 0.2 |
| SYM-LA01 typeS | La₂O₃ | 0.1 |
| SYM-MG05 | MgO | 0.5 |
| SYM-MN05 | MnO₂ | 0.5 |
| SYM-NB05 | Nb₂O₅ | 0.5 |
| SYM-NI05 | NiO | 0.5 |
| SYM-PB05 | PbO | 0.4 |
| SYM-RB03 | Rb₂O | 0.3 |
| SYM-SN05 | SnO₂ | 0.4 |
| SYM-SR05 | SrO | 0.5 |
| SYM-TA05 | Ta₂O₅ | 0.5 |
| SYM-TI05 | TiO₂ | 0.5 |
| SYM-YB01 typeS | Yb₂O₃ | 0.1 |
| SYM-ZR04 | ZrO₂ | 0.4 |
他、カスタマイズ品をご希望でしたらお問い合わせください。