蒸着材料
蒸着材料とは
蒸着材料とは、蒸着法により薄膜を形成する際に使用する材料で、金属や酸化物などがあります。弊社では溶解技術や焼結技術により、高純度の蒸着材料を取り揃えており、蒸着に使用するハースライナー、ボートも各種取り揃えております。
蒸着材料
| 材質 | 一般金属 | Al, Bi, Co, Cu, Fe, Hf, In, Li, Mo, Nb, Ni, Si, Sn, Ta, Ti, V, W, Zn, Zr |
|---|---|---|
| 貴金属 | Ag, Au, Ir, Pd, Pt, Rh, Ru | |
| 合金 | Ni-Cr, Ni-Fe, Cu-Zn, Cu-Ni など |
| 形状 | 標準サイズ | |
|---|---|---|
| タブレット | 径 | φ10,φ15,φ20 |
| 厚み | t5, t10 | |
| ワイヤーカット | 径 | φ1,φ2,φ3,φ5 |
| 厚み | t3, t5, t10 | |
| チップ | 5×5×ｔ1、10×10×ｔ1 | |
形状加工も対応しており、ご使用のハースライナーに適した形状をご選択いただけます。
合金や酸化物については、組成コントロールも可能です。少量でも対応可能ですので、まずはご相談ください。
蒸着用部品
ハースライナー
| 材質 | Al₂O₃、BN、C、Cu、Mo、Ta、W |
|---|
C、BN、BNコンポジット
BNコンポジットは、BN・TiB₂を主原料として反応しホットプレスで成形されたもので、溶融金属に対し、優れた耐食性を示す素材です。機械加工が可能で黒鉛並みの導電性を示すため、様々な形状に加工し直接通電ないし高周波誘導により加熱できることを特長としています。肉厚に関しましてはご要望に応じて製作いたします。
AおよびHの単位：mm
| A | D | H | |
|---|---|---|---|
| ① | φ21 | 100° | 10 |
| ② | φ29 | 108° | 15 |
| ③ | φ32 | 105° | 16 |
| ④ | φ35 | 97° | 17 |
| ⑤ | φ39.5 | 105° | 19 |
| ⑥ | φ50 | 105° | 25 |
| ⑦ | φ75 | 105° | 32 |
ボート
| 材質 | Mo、Ta、W |
|---|
アルミナコート付きボート
アルミナコートしたボートは、試料とヒーター本体とが非接触の状態で使用できる点が特徴です。アルミナがほとんどの金属と不活性であるという点を生かし、次のような効果が発揮されます。
- 試料が溶融状態であっても抵抗値が変わらない。
- るつぼに比べて熱伝導が良好である。
- 蒸発物の濡れによる電極部へのはい上りなどがない。
- 蒸着物が溶融した場合は粒状となりポイントソースとなる。
- ヒーターと非接触のため、寿命が長い。
W、Moを材料とするボートには、形状にかかわらずアルミナコートができますので、ご相談ください。