強誘電体ウェハー
強誘電体ウェハー販売
ラジアント・テクノロジー社では、Pt下部電極付き及び、PZT、PLZT、PZTN等の強誘電体薄膜をコーティングした各種Siウェハーを販売しております。また、長い成膜実績と経験を有しており、電極・強誘電体成膜、ダイシングまでの一連の作業も行っております。
下表に掲載されていない強誘電体薄膜のみや上部電極のみ、下部電極のみの作製等や、お客様が作製した下部電極上にPZTなどの強誘電体を成膜することも可能です。
表 Pt下部電極付き・強誘電体薄膜付ウェハーの一例
| 仕様 | 最小購入数量 |
|---|---|
| Pt下部電極のみ 4インチ | 5枚 |
| 4/52/48 PLZT Wafer - 電極なし | 1枚 |
| 4/20/80 PNZT Wafer - 電極なし | 1枚 |
| 0/20/80 PZT Wafer - 電極なし | 1枚 |
| 9/65/35 PLZT Wafers - 電極なし | 1枚 |
| 15/0/100 PLZT Wafers - 電極なし | 1枚 |
| 4/52/48 PLZT Wafer - 上部・下部電極付き | 1枚 |
| 4/20/80 PNZT Wafer - 上部・下部電極付き | 1枚 |
| 0/20/80 PZT Wafer - 上部・下部電極付き | 1枚 |
| 9/65/35 PLZT Wafer - 上部・下部電極付き | 1枚 |
| 15/0/100 PLZT Wafer - 上部・下部電極付き | 1枚 |
| 4/52/48 PLZT Wafer - 上部・下部電極付き | 1枚 |
| 4/20/80 PNZT Wafer - 上部・下部電極付き 金パターニング、PZTパターン | 1枚 |
| 0/20/80 PZT Wafer - 上部・下部電極付き 金パターニング、PZTパターン | 1枚 |
| 9/65/35 PLZT Wafer - 上部・下部電極付き 金パターニング、PZTパターン | 1枚 |
| 15/0/100 PLZT Wafer - 上部・下部電極付き 金パターニング、PZTパターン | 1枚 |
- ※納期・価格は強誘電体成分の構成、電極の組み合わせ等により変動します。
- ※鉛元素 (P) は100とした場合の組成比で、P=100は省略した記法です。
強誘電体・圧電体MEMSデバイス作製・販売
ラジアント・テクノロジー社では、長年の強誘電体薄膜作製のノウハウを生かし、強誘電体・圧電体MEMSデバイス作製を行っております。強誘電体・圧電体を使用した特異なデバイス作製をサポートいたします。下の写真はPZTを用いた圧電デバイスの一例です。上部、下部電極、保護膜のパターンマスクを使用したデバイス作製も実績がございます。ご不明な点がございましたら、お問い合わせ頂ければと思います。
