仕事を知る（技術系部門）

皆さんの身の回りにあるスマートフォンなどの家電製品に「薄膜」が使われていることはご存知ですか？PVD材料事業部では、薄膜の材料として使われる「スパッタリングターゲット」や「蒸着材料」などを作っています。製造方法は大きく分けて2つ。「溶解法」と「焼結法」。溶解法では真空溶解炉などを用いて高純度金属を溶解し、3、4、5元系などの様々な組成の合金を製造しています。焼結法では、金属や酸化物を焼き固めて緻密な焼結体を製造しています。また、製造だけでなく、お客様の要望に応じた形状や表面加工などの作業まで行います。

薄膜材料の中で、気相化学反応を用いた薄膜形成法（CVD法）の材料を、揮発・熱分解を利用して薄膜形成を行う方法（CSD法）の材料をCSD材料と言います。弊社の特徴は、自社内で世界初から合成することができ、原料・精製、溶媒選定やシリンダーなどへの容器充填、分析評価まで一貫して生産することができます。基礎研究開発から量産までの経験が豊富で、国内外の半導体メーカーにも採用されている厳重管理体制が評価されています。

最先端の物性研究の要となる、各種機能化合物、金属の有機化合物などを合成しています。化合物の種類は元素とアイデアの組み合わせで無限に存在します。中には大気中では扱いが難しいものもありますが、それらを製造するための我々の技術があります。特に弊社が保有している複合酸化物はファインセラミックス材料の一つで特別に調整された条件で製造されており、おもにリチウムイオン電池や誘電体などの材料として使われています。少量から量産まで、柔軟に対応し幅広いお客様に適した製品を提供しています。