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ボンディング加工

Bonding

ボンディング

ボンディングとは、スパッタリングターゲットとバッキングプレートを強固に接着させることを言います。
スパッタ中に発生するターゲットの熱を速やかに放散させることを主な目的としており、重要な役割を担っています。

弊社では、スパッタリングターゲットメーカーとしての長年の経験から、材料に適した方法でボンディングを行っております。
ISO9001の認証を取得し、万全の品質管理を行っておりますので、安心してお任せください。

一般的なボンディング工程

一般的なボンディング工程

特徴

ボンディング技術

  1. ターゲットの材質に応じた最適ボンダーを独自に開発しています。ボンダーの選択にあたっては接着強度試験を行った上、一定の接着強度以上のボンダーを採用しています。
  2. 大型ターゲット(メートルサイズ)のボンディングにも迅速な対応が可能です。
  3. ボンディング後の反りや位置ズレについても弊社独自の規格の他に、お客様のご希望に沿った規格にも対応しています。
  4. 短納期で対応することにより、お客様の迅速な製品サイクルを支援させていただいております。
ボンダー製品

ボンディング材料

ボンディング材料は、メタルボンディング材(各種特殊ハンダ)および樹脂ボンディング材(非導電性レジン)を用いています。
メタルボンディング材は、弊社のスタッフが研究・開発した物質を使用しています。
樹脂ボンディング材は、通常使用では真空中でのガス発生がないように材料選定しています。

なお、ガラスやセラミックスにおいても、メタルボンディングにて対応可能です。

検査 【接着率】

検査 【接着率】

ボンディング保証のため、“超音波検査”または“X線検査” の非破壊検査をしています。

製品中の気孔や欠陥の有無、形状やその位置を特定し、品質向上に務めています。
弊社における接着率合格ラインは90%ですが、平均接着率98%以上の実績を有しています。

合格ラインを大幅にクリアしており、熱伝導を最大限に確保しています。

接着率検査装置

超音波探傷装置

水中に設置した被検査物に探触子より超音波パルスを送波し、接合面からの反射エコーを観測し、欠陥を探傷します。

探触子は、センサーにより被検査物に対し一定距離を保ちながら自動でスキャンしており、欠陥の位置・形状を確認することができます。

超音波探傷結果
超音波探傷装置

X線透過装置

X線透過写真を撮影します。
得られた写真より内部欠陥や気泡の有無を検査し、良品・不良品を確認することができます。

被検査物
X線透過装置

関連設備

  • ボンディング設備

BD品の接着率検査のご依頼も受けております。