強誘電体ウェハー販売

ラジアント・テクノロジー社では、Pt下部電極付き及び、PZT、PLZT、PZTN等の強誘電体薄膜をコーティングした各種Siウェハーを販売しております。また、長い成膜実績と経験を有しており、電極・強誘電体成膜、ダイシングまでの一連の作業も行っております。

下表に掲載されていない強誘電体薄膜のみや上部電極のみ、下部電極のみの作製等も可能です。お客様が作製した下部電極上にPZTなどの強誘電体を成膜することも可能です。また、下写真のようにマスクを使用した特殊形状の成膜も行っております。

マスクを使用した成膜の一例

表 Pt下部電極付き・強誘電体薄膜付ウェハーの一例

※納期・価格は強誘電体成分の構成、電極の組み合わせ等により変動します。
※鉛元素 (P) は100とした場合の組成比で、P=100は省略した記法です。

強誘電体・圧電体MEMSデバイス作製・販売

ラジアント・テクノロジー社では、長年の強誘電体薄膜作製のノウハウを生かし、強誘電体・圧電体MEMSデバイス作製を行っております。強誘電体・圧電体を使用した特異なデバイス作製をサポートいたします。下の写真はPZTを用いた圧電デバイスの一例です。上部、下部電極、保護膜のパターンマスクを使用したデバイス作製も実績がございます。ご不明な点がございましたら、お問い合わせ頂ければと思います。

ピエゾミラー(デバイスの一例)