強誘電体・圧電体テスター/Vision ソフトウェア
Ferroelectric・Piezoelectric tester/Vision software
強誘電体・圧電体テスター
PiezoMEMS Analyzer
マルチフェロイック材料の高速測定に対応したMultiferroic IIにLCRメーター、マルチプレクサーの機能を統合した最新テスターです。従来の強誘電体や圧電体の特性評価だけでなく、MEMSセンサーやアクチュエーターの開発に必要な電気機械特性の評価を同時に行うことができます。材料開発の効率向上に大きな役割を果たします。

MultiferroicⅡ
プレシジョンマルチフェロイックテスター II (Precision Multiferroic II tester)はマルチフェロイック材料の計測のために、Premier IIの内蔵アンプをより高速応答が可能な内蔵アンプ(±100V、±200V、±500V)に変更したものです。高速応答計測に高い能力を発揮します。

PremierⅡ
0.5µsまでのパルス幅での分極測定、270kHzまでのヒステリシスの測定を可能とします(±10V)。薄膜、大面積サンプルや高電圧にも幅広く対応し、第四世代テスターとして高い能力を有します。

LCⅡ
LCの後続機として、拡張型のLC IIを開発しました。ヒステリシス計測時間を30秒に増加し、最大32000計測点に対応いたしました。プレシジョンLC IIは高い柔軟性と容易な使い方を、優れたコストパフォーマンスで実現します。大学や研究機関に最適なテスターです。

RT66C
低価格、かつ研究者が必要とする機能を搭載した強誘電体テスターです。セットアップ、使い勝手が非常に簡便で強誘電体薄膜や厚膜が簡単な手順で計測可能になります。標準仕様として±200V の出力電圧が可能で、追加オプションで±10KV まで拡張可能です。

研究現場のニーズにこだわった豊富なラインナップ
ラジアント・テクノロジー社では強誘電体メモリ、圧電体、ピエゾMEMS、焦電体、センサー、さらには、薄膜からバルクまで様々な用途で使用可能な強誘電体・圧電体テスターを世界中に供給しています。RT66AをWindows OS上のVision ソフトウェアに対応させ拡張性を高めたRT66C、汎用機であるLCの性能向上を行ったLCII、上位機種のPremier II、マルチフェロイック材料の高速測定に対応したMultiferroic II、そして、最新機種としてLCRの計測も可能なPiezoMEMS Analyzerといった5種類の強誘電体・圧電体テスターを取り扱っています。
信頼されるデータ
海外での強誘電体計測に対するラジアント・テクノロジー社の信頼性は、学会論文等をご覧くださるとお判り頂けると思います。弊社では各種デモ機をご用意しておりますので、装置の精度や機能、動作確認のご相談は、ぜひお気軽にお問合せください。実際のデモ計測で、ラジアント・テクノロジー社の試験装置の正確性、柔軟性及び簡便さについてご理解いただけると確信いたします。
主要機能
- 外部出力ファティーグ機能
- MEMSテスト用内蔵電源±30V、±100V、±200V、±500V
- 定常的に変化するパルス幅やヒステリシス測定時間の設定
- 連続可変パルス幅とヒステリシス測定時間
- 保護機能つき高機能高電圧インターフェース(HVI)に接続可能
- バーチャルグラウンド測定回路
- 内部自動校正用各種素子、高機能プレシジョン・アクセサリーポート
- 測定用外部センサー・ポート(外部変位計、温度センサー等に接続)
- 48チャンネルマルチプレクサーによる自動測定。高電圧マルチプレクサー(オプション)
- 研究者がテストをカスタマイズすることを可能にするVisionデータ管理ソフトウェア
- VisionソフトウェアはWindows 10、11(64bit)対応
- 研究者間で計測条件やデータをグローバルで共有できるデータ形式
- LAN規格: 10/100/1000BASE-T、 GPIBによるコミュニケーション(ホストPCに依存)
- 複数の保存データと測定直後のデータとの比較等
- 電源は100V~220Vを自動選択
仕様
※スクロールしてご覧いただけます。
Tester Parameter | PiezoMEMS Analyzer | Multiferroic II | Premier II | LC II | RT66C |
---|---|---|---|---|---|
電圧レンジ(組込印加電圧アンプ | ±100V, ±200V | ±100V, ±200V, ±500V | ±10V, ±30V, ±100V, ±200V, ±500V (内部組込) | ±200V | |
電圧レンジ(外部電圧アンプ+高電圧インターフェース(HVI)を使用) | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV | 10kV |
ADC変換バイト数 | 18 | 18 | 18 | 18 | 14 |
最小電荷分解能 | 0.80fC | 0.80fC | 0.80fC | <10fC | 122fC |
最小面積分解能 (1bit = 1µC/cm2 換算で) | 0.08µ2 | 0.08µ2 | 0.08µ2 | <1µ2 | 12.2µ2 |
最大電荷分解能 | 5.26mC | 5.26mC | 5.26mC | 276µC | 4.8µC |
最大面積分解能 (飽和分極値 = 100µC/cm2 と想定して) | 52.6cm2 | 52.6cm2 | 52.6cm2 | 2.76cm2 | 4.8mm2 |
最大電荷分解能 (高電圧インターフェ-ス (HVI) 付で) | 526mC | 526mC | 526mC | 27.6mC | 480µC |
最大面積分解能 (飽和分極値 = 100µC/cm2 と想定して、但しHVI 有りで) | >100cm2 | >100cm2 | >100cm2 | >100cm2 | 4.8cm2 |
最大ヒステリシス周波数 | 270kHz @ 10V 270kHz @ 30V 270kHz @ 100V 100kHz @ 200V 5kHz @ 500V |
270kHz @ 10V 270kHz @ 30V 270kHz @ 100V 100kHz @ 200V 5kHz @ 500V |
250kHz @ 10V 10kHz @ 30V 10kHz @ 100V 5kHz @ 200V 5kHz @ 500V |
5kHz @ 9.9V 5kHz @ 30V 5kHz @ 100V 5kHz @ 200V 5kHz @ 500V |
1kHz |
最小ヒステリシス周波数 | 0.03Hz | 0.03Hz | 0.03Hz | 0.03Hz | 0.125Hz |
最小パルス幅 | 0.5µsec | 0.5µsec | 0.5µsec | 50µsec | 500µsec |
最小パルス立ち上がり時間 (5Vまで) | 400nsec | 400nsec | 400nsec | 40µsec | 500µsec |
最大パルス幅 | 1sec | 1sec | 1sec | 1sec | 0.1sec |
最大パルス間遅延時間 | 40ksec | 40ksec | 40ksec | 40ksec | 40ksec |
内部時計 | 25nsec | 25nsec | 25nsec | 25nsec | 50µsec |
最小リーク電流 (最大電流集積期間 = 1sec と想定) | 1pA | 1pA | 1pA | 1pA | 10pA |
最大微小信号キャパシター周波数 | 1MHz | 1MHz | 1MHz | 20kHz | 2kHz |
最小微小信号キャパシター周波数 | 1Hz | 1Hz | 1Hz | 1Hz | 10Hz |
出力昇圧時間制御 | 105 scaling | 105 scaling | 105 scaling | 103 scaling | 2 settings |
入力キャパシター容量 | ~60fF | ~60fF | ~60fF | ~60fF | 1pF |
電位計 任意速度で全試験について全テスト周波数による入力が | 可能 | 可能 | 可能 | 可能 | 可能 |
LCR機能 | 内蔵 | - | - | - | - |
マルチプレクサー | 内蔵 | オプション | オプション | オプション | オプション |
※仕様は予告なく変更される場合があります。

Visionはラジアント・テクノロジー社製 非線形応答材料測定用テスター、高電圧発生装置や変位センサーといった外部機器を制御するためのソフトウェアです。通常、お持ちのPC(Windows OS)にインストールし、ホストPCとしてドライバーを介して外部機器に信号を送り、計測の実行、測定データの取り込み、そして、解析を行います。
1つずつデータを確認しながら迅速・簡便に計測を行う“QuikLook”モード、そして、より高度で複雑なプログラムをカスタマイズして実行する “Editor” モードが標準で備わっています。Editorモードでは、ドラッグアンドドロップで容易に試験シーケンスが組み立てられ、さらには、グラフ化だけでなく、座標軸の自動変換、データのエクスポートなど各種計測・データ加工が自由に設計できる仕様となっています。
Vision環境下で取得されたすべてのデータが収集され、計測条件とともにアーカイブデータとして保存されます。そのため、いつでも実行済みのデータの取り出しが可能です。また、データと計測条件は共同研究先とインターネットやイントラネット回線上で共有が可能なため、試験の手順や管理、そして、両者が評価を共有できます。
VisionはGPIBやLAN等が搭載された外部機器との接続が容易に行えることから、汎用性が高く、外部機器と連携した複雑な計測が容易に実行できます。さらに、ラジアント・テクノロジー社製ではない高電圧アンプや恒温槽といった外部機器との接続、そしてそれらの制御も可能です。Visionソフトウェア内の温度制御プログラムとの組み合わせで、各温度における電気特性を自動で測定することも可能です。材料評価でお困りの際にはぜひお問い合わせください。
■Vision ソフトウェアに含まれる計測ソフトの一例
- Hysteresis
- Remanent Hysteresis
- Time Dependent Component
- リーク電流
- 疲労(Fatigue)試験
- PUND
- エナジーカーブ
- リテンション
- インプリント
- 磁気電気応答
- 強誘電体トランジスター
■有償ソフトの一例
- DLTS
- PAINT
- 焦電計測
- アドバンストピエゾ
- トランジスタ計測

e31計測冶具と組み合わせ、Hysteresis LoopとButterfly Curveを同時に計測
ご不明な点がございましたら、弊社までご連絡ください