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シリンダー継ぎ手(バルブ継ぎ手)の取り扱い方法について

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シリンダー継ぎ手(バルブ継ぎ手)の取り扱い方法について

弊社では、CVD材料などを安全に運搬するため、そしてCVD装置に装着してバブラーとして使用していただくために、材料とともにステンレスシリンダーの提供を行っていますが、お客様に安全にシリンダーを使用していただくためにシリンダー継ぎ手(バルブ継ぎ手)をご紹介します。
尚、弊社のCVD・ALD材料については、こちらをご覧ください。

シリンダー側継ぎ手がメスナット(装置側がオス、または封止栓がオスプラグ)の場合

【 封止栓の取り扱い】

 シール部分拡大図
シリンダー側の継手がメスナット場合は、オスプラグである封止栓側を廻すとバルブシール面(図中水色の部分)をこすることになり、シール面に傷をつけますので、オス側は絶対に回転させてはいけません。

封止栓をはずす場合

スパナを二本用意します。まず、一方のスパナを用いて封止栓又はオスプラグを固定し、メスナットをもう一方のスパナで廻して解放します。(下の写真参照)
メスナット部分が緩んだところで、スパナの使用をやめて、オスプラグを指で固定し、もう一方の手でメスナットを回して、封止栓を取り去ります。
封止栓をはずす方法は次のように行ってください。

fig3_1.jpg fig3_2.jpg

封止栓を取り付ける場合

はずす場合と逆の操作になります。
バルブのメスナット側にガスケットを取り付けた後、封止栓(オスプラグ)をガスケットの上に乗せて指で封止栓を固定します。オス側である封止栓を廻さないようにして、メスナットをもう一方の手でネジあわせをした後、手で回転させて止まるまでねじ込みます。
はずすときと同様に二本のスパナを用いて、封止栓(オスプラグ)を固定して、メスナット側をもう一本のスパナで45度程度回転させて締め込みます。コツは、封止栓(オスプラグ)を固定して絶対に廻さないことと、メスナットの回転量を45度から60度までとしてそれ以上無理に締め込まないことです。
締め込み角度については、バルブメーカーの保証値をご確認下さい。


【装置との脱着】
封止栓の脱着と同様の操作が必要です。

VCR継ぎ手 1/8 回転
UJR継ぎ手 1/8~1/6回転

シリンダー側がオスネジ(封止栓及び、装置側がメスナット)の場合

この場合は、シリンダー側がメスナットの場合と異なり、オス側の固定にスパナをかける部分が、六角ネジのところではなくバルブボディーとなります。
次の写真のとおりです。

【封止栓の取り扱い】

封止栓(メス袋ナット)のはずし方

スパナを2本用意して、一本のスパナでバルブのボディーを固定します。下図参照。
次にもう一本のスパナで、封止栓(メス袋ナット)を回転させてゆるめます。その後、ナットを指で回転させて封止栓(メス袋ナット)をはずします。

fig4_2.jpg

封止栓(メス袋ナット)の取り付け方

バルブのシール部分にガスケットを装着し、封止栓(メス袋ナット)のネジを合わせた後、指で止まるところまで回転させます。
一本のスパナで、バルブボディーを固定します(下図参照)。
もう一本のスパナで封止栓(メス袋ナット)を45度右回転させて締め込みます(下図参照)。
コツは、やはりオス側を固定し、メスナットを回転させることと、スパナでの回転量を45度から60度程度までとし、締めすぎないことです。
締め込み角度については、バルブメーカーの保証値をご確認下さい。

fig4_3.jpg fig4_4.jpg

【装置との脱着】

封止栓(メス袋ナット)の場合と同様です。
>バルブ側にガスケットが装着されていることを確認します。 装置側のメスナットのネジを合わせて止まるまで回転させます。
つぎに、一本のスパナでバルブボディーを固定し、もう一本のスパナでメスナットを45度から90度の範囲で締め込みます。はずす場合は、この反対の操作をします。

VCR継ぎ手 1/8 回転
UJR継ぎ手 1/8~1/6回転




<注意>

ここに紹介した方法は、シリンダーの一般的な取り扱い方法です。この方法を参考にして生じた不具合、事故等に関して当社はいっさいの責任をとりません。取り扱いは、知識のある方の指導の元、十分注意し行ってください。
締め込み角度については、バルブメーカーの保証値をご確認下さい。

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